特許

J-GLOBAL ID：200903099756307667

液体供給装置及び方法

発明者： 横井 生憲 ,  大見 忠弘
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-207175
公開番号（公開出願番号）：特開2004-049945
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】ポンプ及び流量調整弁を有した液体供給系における振動を抑制する。【解決手段】液体は、給液配管1、膜脱気装置などの脱気装置2、配管3、ポンプ4、配管5、流量計6、配管7、開閉弁8、配管9、流量調整弁10及び配管11の順に流れて供給される。液中の溶存気体を脱気し、大気圧下での飽和溶解度より低い濃度にまで溶存気体を除去しておく。流量調整弁として比較的振動が小さいダイヤフラム弁、グローブ弁又はニードル弁を用いる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

液体供給用のポンプと、該ポンプよりも下流側に配置された流量調整弁とを有する液体供給装置において、 液体中に溶解している気体濃度を大気圧下での飽和溶解度未満に調整する脱気装置を該ポンプの上流側に設置すると共に、 該流量調整弁としてダイヤフラム弁、グローブ弁又はニードル弁を設置したことを特徴とする液体供給装置。

IPC (2件)：

B01J4/00 ,  B01D19/00

FI (4件)：

B01J4/00 103 ,  B01D19/00 D ,  B01D19/00 H ,  B01D19/00 101

Fターム (11件)：

4D011AA12 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D011AD03 ,  4G068AA02 ,  4G068AB11 ,  4G068AD21 ,  4G068AF01 ,  4G068AF03 ,  4G068AF04 ,  4G068AF40