特許

J-GLOBAL ID：200903099759954124

荷電粒子線露光装置のデータ変換方法

発明者： 宮地 敬
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295068
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151282
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】 露光処理データから実行データへの変換を効率良く行なって、露光処理データ作成用の設計支援装置から露光装置に至るまでのライン全体の効率を向上させ得るデータ変換方法を提供する。【構成】 CAD計算機1〜3で作成した露光処理データを電子ビーム露光装置4〜6が要求する実行データに変換する過程を複数の連続した単位処理に分割する。露光処理データを、CAD計算機1〜3から電子ビーム露光装置4〜6に至る間でネットワーク状に接続された複数の計算機資源1〜10の間で転送しつつ分割された単位処理を最初から順に実行する。データの転送時には、残された単位処理の数と各計算機資源1〜10の配置および負荷とに基づいて次の単位処理を実行すべき計算機資源を特定し、当該計算機資源にデータを転送する。

請求項（抜粋）：

設計支援装置で作成した露光処理データを、荷電粒子線露光装置で露光処理を行なうための実行データに変換する荷電粒子線露光装置のデータ変換方法であって、前記露光処理データから前記実行データへのデータ変換過程を複数の連続した単位処理に分割し、前記設計支援装置と前記荷電粒子線露光装置との間でネットワーク状に接続された複数の計算機資源により、前記分割された単位処理を順に実行しつつデータを転送して前記荷電粒子線露光装置に実行データを供給し、前記データの転送時には、残された単位処理の数と各計算機資源の配置および負荷とに基づいて次の単位処理を実行すべき計算機資源を特定し、当該計算機資源にデータを転送することを特徴とする荷電粒子線露光装置のデータ変換方法。