特許
J-GLOBAL ID:200903099767523442
多層反射防止膜およびそれが施された光学系
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
臼村 文男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-063166
公開番号(公開出願番号):特開平6-250001
出願日: 1993年02月26日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 レンズ等の光学部品の屈折率に依らず同一構成の反射防止膜で優れた反射防止特性を付与し、コストの低下を実現する。基板上にn=1.73のλ/4膜、2.10のλ/2膜、1.38のMgF2 膜を積層しM/H/Lの反射防止膜とする。【構成】 屈折率が1.72≦n≦1.74のλ/4中間屈折率層、1.97≦n≦2.13のλ/2高屈折率層およびn=1.38のMgF2 λ/4低屈折率層を順次積層した同一の多層反射防止膜を、光学部品の基板屈折率によらず形成して反射防止を施す。
請求項(抜粋):
反射防止を施す波長範囲内の基準波長をλとしたとき、光学材料からなる基板上に順次、(a)光学的膜厚がλ/4で、屈折率nが1.72≦n≦1.74の中間屈折率層、(b)光学的膜厚がλ/2で、屈折率nが1.97≦n≦2.13の高屈折率層および(c)光学的膜厚がλ/4で、MgF2 からなる低屈折率層を積層したことを特徴とする多層反射防止膜。
引用特許:
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