特許
J-GLOBAL ID：200903099781763049
回転塗布用スピナーヘツド
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-243760
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082434
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】回転塗布用スピナーヘッドを用いて塗布液を基板に塗布する際に、基板の中央部の均一塗布膜領域から基板の角隅部の厚膜領域にかけて基板全面に均一な塗布膜厚を形成できるようにすることを目的とするものである。【構成】回転軸を中心に回転する回転台21と、該回転台21の周辺部に該回転台21面より突出する壁板25を設けたことを特徴とする回転塗布用スピナーヘッド。
請求項（抜粋）：
回転軸を中心に回転する回転台21と、該回転台21の周辺部に該回転台21面より突出する壁板25を設けたことを特徴とする回転塗布用スピナーヘッド。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
