特許
J-GLOBAL ID：200903099791501921
基板交換方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-129426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306761
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 処理部の基板載置台Tbに対し基板Wの交換に要する時間を短縮する基板交換方法を提供する。【構成】 第1及び第2基板搬送ハンド15U,15Lは、基板載置台Tb上の処理済み基板Wbと未処理基板Waとを交換する。この工程では、第1基板搬送ハンド15Uを基板載置台Tbの下方へ進出させ(ステップS1)、その後、第1基板搬送ハンド15Uを上方に移動させて処理済み基板Wbを基板載置台Tbから受け取ると共に、これとほぼ同時に未処理基板Waが載置された第2基板搬送ハンド15Lを基板載置台Tbより上方に移動させ(ステップS2)、続いて、第1基板搬送ハンド15Uを処理部外に待避させると共に第2基板搬送ハンド15Lを基板載置台Tbの上方に進出させる工程とをほぼ同時に行ない(ステップS3)、その後、第2基板搬送ハンド15Lを下降させ(ステップS4)、第2基板搬送ハンド15Lを処理部外に待避させる(ステップS5)。
請求項（抜粋）：
処理部において処理が終了した処理済み基板を処理部内の基板載置台から第1基板搬送ハンドによって処理部外へ搬出すると共に、未処理基板を第2基板搬送ハンドによって基板載置台に搬入する基板交換方法において、基板を保持していない第1基板搬送ハンドを、処理部内の処理済み基板の下方へ進出させる第1工程と、第1工程に続いて、第1基板搬送ハンドを上方に移動して第1基板搬送ハンドにより基板載置台から処理済み基板を受け取る工程と、処理部外において未処理基板が載置された第2基板搬送ハンドを基板載置台より上方に移動させる工程と、をほぼ同時に行なう第2工程と、第2工程に続いて、第1基板搬送ハンドを処理部外に待避させる工程と、第2基板搬送ハンドを基板載置台の上方に進出させる工程と、をほぼ同時に行なう第3工程と、第3工程に続いて、第2基板搬送ハンドを下降させて未処理基板を基板載置台に載置する第4工程と、第4工程に続いて、第2基板搬送ハンドを処理部外に待避させる第5工程と、を備えたことを特徴とする基板交換方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 N
, H01L 21/30 502 J
