特許

J-GLOBAL ID：200903099818860082

SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等に用いるマーカー及びマーカー検出方法

発明者： 安田 進 ,  黒田 亮
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145227
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304406
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、マーカーの形成およびマーカー検出を高速に行うことのできるSPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等に用いるマーカー及びマーカー検出方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等に用いる被観測物の位置あるいは回転方向を検出するためのマーカーにおいて、該マーカーの形状が少なくとも2本の線分からなり、該線分の組に少なくとも1組の平行でない線分の組が含まれており、該線分が互いに交差しないことを特徴とするものであり、そのマーカー検出方法は、マーカー上を前記プローブにより1回の直線走査を行って、該プローブから検出した物理量に基づいて前記マーカーの位置を算出することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

SPM装置又はSPMの原理を応用した加工装置・記録再生装置等に用いる被観測物の位置あるいは回転方向を検出するためのマーカーにおいて、該マーカーの形状が少なくとも2本の線分からなり、該線分の組に少なくとも1組の平行でない線分の組が含まれており、該線分が互いに交差しないことを特徴とするマーカー。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00

FI (3件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 9/00