多層膜分光反射鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050797
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249297
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【構成】ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の金属からなる重元素層とSi化合物からなる軽元素層とからなることを特徴とする多層膜分光反射鏡。【効果】本発明の多層膜は、Siを軽元素層として用いた多層膜に比較して耐熱性が向上している。

請求項（抜粋）：