特許

J-GLOBAL ID：200903099819494411

光導波膜の製造方法

発明者： 首藤 啓三 ,  北川 毅 ,  服部 邦典
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-340075
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183751
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】 Er添加多成分ガラス光導波路での製法上の制約の問題及び導波路の光学的な散乱損失と信号光利得の問題を解決し、製造が比較的容易で、且つ、光学的にも光品質な特性を有するErに代表される希土類添加光導波路に利用することのできる光導波膜の製造方法を提供する。【構成】 エルビウム(Er)などの希土類を添加した石英系ガラス膜において、この希土類を添加する原料として希土類の有機化合物を用い、プラズマCVD法あるいは、減圧CVD法により成膜する。

請求項（抜粋）：

希土類を添加した石英系ガラス膜において、前記希土類を添加する原料として希土類の有機化合物を用い、プラズマCVD法により成膜することを特徴とする光導波膜の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 6/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-220506
  
• 特開平4-073717
  
• 特開平4-300218
  
• 特開平2-275724