特許

J-GLOBAL ID：200903099829476837

表面形状測定装置

発明者： 阿部 耕三 ,  井口 信明 ,  林 孝
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  黒田精工株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010315
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218207
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 表面形状を検出する変位センサの運動誤差を低減し、測定精度の向上を図ることができる平面形状測定装置を提供する。【構成】 ベッド11と、ベッド面に平行なX軸ガイド14と、X軸ガイド14にX軸方向に移動可能に取り付けられたX軸スライダ15と、X軸スライダ送り装置16と、X軸スライダの位置を検出するX軸変位センサ16と、X軸スライダ15に取り付けられたZ軸変位センサ21と、ベッド上でY軸方向に被測定物Mを送る送り装置26とを備え、X軸、Y軸、およびZ軸がそれぞれ直交する表面形状測定装置において、Z軸変位センサ21のプローブ22の先端がX軸ガイド14の中心線を通るXZ平面近傍に位置している。

請求項（抜粋）：

ベッドと、ベッド面に平行なX軸ガイドと、X軸ガイドにX軸方向に移動可能に取り付けられたX軸スライダと、X軸スライダ送り装置と、X軸スライダの位置を検出するX軸変位センサと、X軸スライダに取り付けられたZ軸変位センサと、ベッド上でY軸方向に被測定物を送る送り装置とを備え、X軸、Y軸、およびZ軸がそれぞれ直交する表面形状測定装置において、Z軸変位センサのプローブの先端がX軸ガイドの中心線を通るXZ平面近傍に位置していることを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/28 101 ,  G01B 5/28 102

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-224008
  
• 三次元測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315109   出願人：株式会社ニコン