ターボ真空ポンプ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001041
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189495
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【構成】ターボ真空ポンプの円周流圧縮ポンプ段11と排気口2Aを接続する真空配管14を配置し、真空配管14の途中に一方向にだけ開くことのできるバルブ15を設ける。【効果】ロータの移動を小さくすることができるので、ロータとステータのクリアランスを適切に保つことができ、ロータとステータが接触することなく所望の性能を確実に得られる。

請求項（抜粋）：

電動機を有するハウジングと、前記ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に支持された複数枚の羽根を設けた多段のロータと、前記ロータの羽根に細隙を持って内面に凹部を有し、前記凹部により通風路を形成しているステータを対向させ、前記ロータと前記ステータにより多段の円周流圧縮ポンプ段を構成し、排気口圧力が大気圧、または大気圧近くで作動するターボ真空ポンプにおいて、円周流圧縮ポンプ段の途中の段と排気口をつなぐ真空配管を配置し、前記真空配管の途中または端部に前記円周流圧縮ポンプ段の内部圧力が大気圧以上になったときに開くバルブを設けたことを特徴とするターボ真空ポンプ。

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