特許

J-GLOBAL ID：200903099840725075

走査型レーザー顕微鏡

発明者： 角張 通 ,  矢沢 雅彦
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343318
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173077
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】レーザービームの走査に要する時間の短い走査型レーザー顕微鏡を提供する。【構成】光源12から射出されたレーザービームは、これをx方向とy方向に走査する走査ユニット16に入射する。走査ユニット16からのレーザービームはシャッター18を介してレンズ20に入射し試料22に集光される。シャッター18の開閉は、走査開始後に開いてビームを通過させ、走査終了前に閉じてビームを遮断するよう走査コントローラー44により制御される。試料22からの光はレンズ24に入射し、補正ユニット26で光軸ずれが補正された後、レンズ28で集光され、ピンホール30を通過して光検出器32に入射する。コントローラー46は光検出器32の出力と走査コントローラー44からの位置情報とに基づいて試料観察像を構築し、TVモニター50に表示する。

請求項（抜粋）：

レーザービームを射出する光源と、反射面を機械的に駆動してレーザービームを走査する走査手段と、レーザービームを試料に照射する照射手段と、試料と共役な位置に置かれたピンホールと、ピンホールを通過した光を受光する光検出器と、光検出器の出力を取り込み画像を形成する画像形成手段とを備えている走査型レーザー顕微鏡において、照射手段がレーザービームを適宜遮断するシャッターとシャッターの開閉を制御する手段とを有し、走査手段は、シャッターが開く前にビームの走査を開始し、シャッターが閉じた後も走査を続けることを特徴とする走査型レーザー顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-188406
  
• 特開平3-021913
  
• 特開昭56-131940
  
• 特開平4-159510