特許
J-GLOBAL ID:200903099842496162
半導体素子接続用金線
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-166524
公開番号(公開出願番号):特開2001-345342
出願日: 2000年05月31日
公開日(公表日): 2001年12月14日
要約:
【要約】【課題】 低抵抗の金合金線で、微小ボール圧着後真円度の向上、高ワイヤ強度、薄膜Al電極へのボール圧着時チップ割れの防止、バンプのテール長さの均一化を図る。【解決手段】 5〜100質量ppm のCa、5〜100質量ppm のGd、1〜100質量ppm のY、好ましくは更にYを除く希土類のうち少なくとも1種を1〜100質量ppm 含み、さらに好ましくはMg,Ti,Pbのうち少なくとも1種を1〜100質量ppm 含み、これらの合計が200質量ppm 以下であり、残部が金と不可避的不純物からなる半導体素子接続用金線。
請求項(抜粋):
5〜100質量ppm のCa、5〜100質量ppm のGd、1〜100質量ppm のYであって、これらの合計量が200質量ppm 以下であり、残部が金と不可避不純物からなる半導体素子接続用金線。
IPC (2件):
H01L 21/60 301
, C22C 5/02
FI (2件):
H01L 21/60 301 F
, C22C 5/02
Fターム (1件):
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