特許

J-GLOBAL ID：200903099844870398

合成石英ガラスの製造方法及び製造装置

発明者： 山口 倫央 ,  矢島 昭司 ,  神保 宏樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-025950
公開番号（公開出願番号）：特開平11-228146
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 ターゲット径よりも大口径で、且つ、屈折率の均質性が良好な合成石英ガラスのインゴットを形成させることのできる合成石英ガラスの製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 噴出口をターゲット4の上面に向けて設置したバーナー5より珪素化合物ガス、酸素含有ガス及び水素含有ガスを噴出させ、ターゲット4上面に合成石英ガラスのインゴットIGを形成させるとともに、ターゲット4の上面にインゴットIGを形成させている間、インゴットIGの下部を強制冷却する。この強制冷却のために、ターゲット4の内部に通孔11を穿設し、通孔11の下部側から冷却ガスを注入してターゲット4上部側に噴出させる。

請求項（抜粋）：

噴出口をターゲットの上面に向けて設置したバーナーより珪素化合物ガス、酸素含有ガス及び水素含有ガスを噴出させ、ターゲット上面に合成石英ガラスのインゴットを形成させる合成石英ガラスの製造方法であって、前記ターゲット上面に前記インゴットを形成させている間、前記インゴットの下部を強制冷却することを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。

IPC (5件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  G02B 1/00 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

C03B 8/04 Z ,  C03B 8/04 K ,  C03B 20/00 Z ,  C03C 3/06 ,  G02B 1/00 ,  H01L 21/30 515 Z