特許
J-GLOBAL ID：200903099849203462
走査型トンネル顕微鏡用探針の製造方法及び製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003640
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189706
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】精細で正確な顕微鏡像が得られる走査型トンネル顕微鏡用探針を容易にしかも高確率で作製する。【解決手段】真空中または不活性ガス雰囲気中で金属線材を機械的に切断して先端を形成した後、真空中または不活性ガス雰囲気中でこの先端を100°C以上に加熱して清浄化する走査型トンネル顕微鏡用探針の製造方法。
請求項（抜粋）：
真空中または不活性ガス雰囲気中で金属線材を機械的に切断して先端を形成した後、真空中または不活性ガス雰囲気中でこの先端を100°C以上に加熱して清浄化することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用探針の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 C
, G01B 7/34 Z
