特許

J-GLOBAL ID：200903099850673189

熱遮蔽体及びその脱着用治具

発明者： 奥井 正彦 ,  藤原 俊幸 ,  藤原 秀樹 ,  稲見 修一 ,  和泉 輝郎 ,  森田 洋
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343485
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183690
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 従来の熱遮蔽体では、単結晶成長装置を清掃する際に邪魔になる。また原料をチャージする際にこれが当接し易いので、熱遮蔽体が破損し、また原料の充填率が低下する。また熱遮蔽体下部に原料が付着すると反応生成物が生成され、これが混入して転位を発生させるので、Si単結晶67の品質が低下し易い。また熱遮蔽体が一体的に構成されており、この下部が破損したり、この下部に原料が固着した場合、熱遮蔽体全体を更新しなければならず、コストが嵩んでいた。【解決手段】 上部熱遮蔽体14と、上部熱遮蔽体14の下端部14a内径dよりも大きい上端部15a外径Dを有する下部熱遮蔽体15とを備えた熱遮蔽体13。

請求項（抜粋）：

上部熱遮蔽体と、該上部熱遮蔽体の下端部内径よりも大きい上端部外径を有する下部熱遮蔽体とを備えていることを特徴とする熱遮蔽体。

IPC (3件)：

C30B 15/14 ,  C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/14 ,  C30B 15/00 Z ,  C30B 29/06 502 C