質量分析器及びこれを用いた質量分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339777
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】試料を構成する分子種の同定や試料に含まれる微量な原子を超高感度で分析可能な飛行時間型質量分析装置を提供する。【構成】本装置は、イオン源1、イオンビームパルス化機構2、イオンビームレンズ3、試料4、レーザ装置5、飛行時間型質量分析計6、静電偏向器11、アパーチャ12、チャンネルプレート14、パルス計数装置15などから構成される。【効果】本発明によれば、超高感度分析が可能な飛行時間型質量分析装置を提供することができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子を入射させる第1の開口と該荷電粒子を出射させる第2の開口を有する空洞体と、該空洞体の第2の開口より出射された荷電粒子の軌道を選択的に変換する荷電粒子軌道変換手段と、該荷電粒子軌道変換手段により所定の軌道に進行させられた荷電粒子の進行速度を減速する減速手段と、該減速手段により減速された荷電粒子を検出する検出手段からなることを特徴とする質量分析器。

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