特許

J-GLOBAL ID：200903099852961203

ラダー型圧電セラミックフィルタの製造方法

発明者： 佐藤 学
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226582
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111371
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 簡易な方法によって、異なる周波数帯の電気信号を取り出すことができる圧電素子を作製し、これらをラダー型に組み合わせて形成することによりラダー型圧電セラミックフィルタを提供する。【解決手段】 シリコン基板上に酸化亜鉛等のエッチング可能な材質からなり、厚さの異なる犠牲層をスパッタリング等の手法により形成した後、強化層を形成し、更に白金等からなる下部電極層を形成する。次いで、チタン酸ジルコン酸鉛系などの圧電セラミック原料を含有するゾルゲル溶液を塗布し、焼成して、圧電セラミック層を形成する。その後、白金等からなる上部電極層をスパッタリング等の手法により形成し、犠牲層を除去して、同一基板上に、厚さの異なる圧電セラミックス層を形成し、分極処理して圧電素子を作製する。これらをラダー型に組み合わせて形成することによりラダー型圧電セラミックフィルタを得る。

請求項（抜粋）：

同一基板の上面に厚さの異なる犠牲層を形成した後、少なくとも該犠牲層の上面に下部電極層を形成し、次いで、該下部電極層の上面に圧電セラミック塗膜を形成した後、焼成して、圧電セラミック層を形成し、次いで、少なくとも該圧電セラミック層の上面に上部電極層を形成し、その後、上記犠牲層を除去し、厚さの異なる圧電セラミック層を形成し、次いで、分極処理して圧電素子を作製する工程を備え、該圧電素子をラダー型に組み合わせて形成することを特徴とするラダー型圧電セラミックフィルタの製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/54 ,  H03H 9/58

FI (3件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 9/54 Z ,  H03H 9/58 A

Fターム (7件)：

5J108AA07 ,  5J108BB04 ,  5J108FF01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11