特許

J-GLOBAL ID：200903099859513761

カラーフィルタ基板へのマーキング方法およびそれによりマーキングされたカラーフィルタ基板

発明者： 吉田 康 ,  早川 博敏 ,  脇迫 仁
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  株式会社安川電機
代理人 (1件)： 小堀 益 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-300213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103063
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光源から射出したレーザ光をスキャニングしながら、一定のレーザ照射条件でカラーフィルタ基板に照射し、文字、図形若しくは記号を形成するマーキング方法において、後工程でパーティクルを発生させないようにする。【解決手段】 前記マーキング方法において、レーザ照射条件を、レーザ光を照射したときに加工される加工スポット7の縁部に繊維状の物質が生じない条件とする。具体的には、レーザ照射条件は、エネルギー密度を100J/cm2以下のカラーフィルタ膜が加工可能な範囲とし、かつ、レーザ光のスポット6の面積と加工スポット7の面積とを等しくする。他のレーザ照射条件は、レーザ光の照射スポット6の面積を加工スポット7の面積より大きくし、このときのエネルギー密度を200J/cm2以下の、カラーフィルタ膜の加工が可能な範囲とする。

請求項（抜粋）：

レーザ光源から射出したレーザ光をスキャニングしながら、一定のレーザ照射条件でカラーフィルタ基板に照射し、文字、図形若しくは記号を形成するマーキング方法において、前記レーザ照射条件は、前記レーザ光を照射したときに加工される加工スポットの縁部に繊維状の物質が生じない条件としたことを特徴とするカラーフィルタ基板へのマーキング方法。

IPC (2件)：

B23K 26/00 ,  B23K101:40

FI (5件)：

B23K 26/00 B ,  B23K 26/00 C ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 N ,  B23K101:40

Fターム (4件)：

4E068AB00 ,  4E068CA02 ,  4E068CA11 ,  4E068DA11