特許
J-GLOBAL ID：200903099859753258

単結晶インゴットの切断方法及び切断用治具

発明者：
宮里 敏生

宮里 敏生 について

, 
本多 浩之

本多 浩之 について


出願人/特許権者：
ワッカー・エヌエスシーイー株式会社

ワッカー・エヌエスシーイー株式会社 について


代理人 (1件)： 内藤 俊太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022777
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224090
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】 単結晶インゴットのトップ及びテールの円錐部2を切断するに際し、円錐部を完全に固定して切断を行い、さらに固定の安定を確認しつつ切断を行うことのできる円錐部2の把持方法、把持具6、切断方法、切断用治具16及び切断装置を提供する。【解決手段】 円錐部2の把持具6は真空吸着カップ3を有し、真空吸着カップ3はその開口部端部(接触部14)に軟質材料4が配置され、軟質材料4をインゴットの円錐部2表面に接触させて真空吸引装置7によって真空吸着カップ内を減圧することで円錐部2を吸着して把持する単結晶インゴットの把持具6。把持具6はその外径がインゴット胴体部1の外径に略等しい円筒形状をなし、把持具6の外周部をインゴット切断機のインゴット台座13に固定することによって円錐部2を固定できるを特徴とする単結晶インゴットの切断用治具16。
請求項（抜粋）：
単結晶インゴットのトップ及びテールの円錐部把持方法であって、真空吸着カップを準備し、該真空吸着カップはその開口部端部(以下「接触部」という。)に軟質材料が配置され、該接触部の軟質材料をインゴットの円錐部表面に接触させて真空吸着カップ内を減圧することで円錐部を吸着して把持することを特徴とする単結晶インゴットの把持方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 611 ,  B24B 27/06
FI (2件)：
H01L 21/304 611 B ,  B24B 27/06 Z
Fターム (6件)：
3C058AA03 ,  3C058AA05 ,  3C058AC01 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058CB06
引用特許：
審査官引用 (7件)
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