特許
J-GLOBAL ID：200903099861644628
水晶のエッチング加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252775
公開番号（公開出願番号）：特開平7-109200
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 水晶基板を短時間で均一にエッチング加工する技術を提供する。【構成】 水晶基板をウエットエッチングする技術において、常圧、40°Cで共沸溶液となる50%フッ化水素酸-フッ化カルシウム混合溶液や50%フッ化水素酸-フッ化クロム混合溶液をエッチング液に用い、そのエッチング液を定常的に撹拌させながら水晶基板のエッチングを行い、水晶基板の表面粗さをエッチングによって面内で均一に平坦化する。
請求項（抜粋）：
HFを含有するエッチング液と水晶とを接触させて前記水晶のエッチング加工を行う水晶のエッチング加工方法において、前記エッチング液として、HFとともにCaF2を含有する緩衝液を用いることを特徴とする水晶のエッチング加工方法。
IPC (3件)：
C30B 33/08
, C30B 29/18
, H03H 3/02
