特許

J-GLOBAL ID：200903099866314510

電気光学を利用した電圧像形成装置及び方法

発明者： フランソア・ジェイ・ヘンリイ
出願人/特許権者： フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059348
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180353
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は連続的にデータを抽出することができる電圧像形成装置を提供することを課題とするものである。【構成】 検査中のパネルの表面上の多数の電圧検査地点での電圧分布の二次元像が、その表面に光学エネルギの入力ビームを電気光学変調装置を介して照射することによって抽出されるものであり、変調装置は探査を可能にする位置及び方向に設けられているため、検査中のパネルの表面上の電圧差によって光学エネルギの出力変調が発生し、これを領域光学センサ(カメラ等)によって観測して、検査中のパネルの表面上の空間的対応電圧差状態を直接的に表す二次元空間依存出力変調像を直接的に発生することができる。変調装置の表面から検査中のパネルまでの距離を、検査中のパネル内の電圧位置の間隔よりも小さくすることによって、表面混線を最小限に抑えることができる。装置は、通過モードでも反射モードでも作動できる。

請求項（抜粋）：

検査中のパネルの表面上の多数の位置での電圧を観測する装置であって、光学エネルギを発生する手段と、前記光学エネルギをいずれかの偏光状態の入力ビームにする手段と、基準電圧に電気的に接続した導電性被膜が設けられている第1面及び前記検査中のパネルの前記表面の領域に隣接するように配置されている反対側の第2面を有し、探査することができるように配置され、前記第1面から送り込まれて前記表面の前記領域に隣接した前記第2面に衝突する前記入力ビームの少なくとも一部分を捕らえて、前記入力ビームに沿った空間依存変調である、前記表面上の位置における電圧差に比例した変調を出力ビームに発生させることができる用に取り付けられた電気光学的変調手段と、さらに、前記出力ビームを横切る方向の像における前記変調を検出して、前記表面上の電圧差を分析できる手段とを有していることを特徴とする電気像形成装置。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1343

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-012852
  
• 特開平2-098671
  
• 特開平2-012852
  
• 特開平2-098671