パルス光を用いた分光計測方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-167924
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101510
出願日： 2003年06月12日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】平行平板試料内部で多重反射したパルスを含む透過時系列パルス光あるいは反射時系列検出パルス光をインコヒーレントとして解析することにより、干渉パターンを含まないスペクトルを得る。【解決手段】平行平板試料20にテラヘルツパルス光を照射し、テラヘルツパルス光が照射された平行平板試料20から反射もしくは透過する検出パルス光を検出する。平行平板試料20の内部で多重反射したパルスを含む検出パルス光から各パルスを分離抽出する。分離した各波形に対してフーリエ変換を行いそれらの絶対値の総和をとる。リファレンス光に対してフーリエ変換して基準絶対値を算出する。検出パルスに対する絶対値と基準絶対値との比を取ってインコヒーレントとして解析することにより、干渉パターンを含まないスペクトルを得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パルス光を用いた分光計測方法において、平行平板試料にパルス光を照射し、パルス光が照射された前記平行平板試料から反射もしくは透過する検出パルス光を検出し、前記平行平板試料内部で多重反射したパルスを含むコヒーレントな前記検出パルス光に対してインコヒーレントな解析処理を行い、干渉パターンを含まないスペクトルを得ることを特徴とするパルス光を用いた分光計測方法。

IPC (3件)：

G01N21/35 , G01J3/26 , G01J11/00

FI (3件)：

G01N21/35 Z , G01J3/26 , G01J11/00

Fターム (55件)：

2G020CB23 , 2G020CB42 , 2G020CC32 , 2G020CC47 , 2G020CD03 , 2G020CD12 , 2G020CD13 , 2G020CD22 , 2G020CD31 , 2G020CD32 , 2G020CD34 , 2G020CD35 , 2G020CD37 , 2G020CD51 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059FF04 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059JJ01 , 2G059JJ14 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059MM06 , 2G059MM09 , 2G059MM10 , 2G059NN10 , 2G059PP04 , 2G065AA12 , 2G065AB02 , 2G065AB09 , 2G065AB14 , 2G065AB22 , 2G065AB23 , 2G065BA01 , 2G065BB13 , 2G065BB14 , 2G065BC03 , 2G065BC11 , 2G065BC13 , 2G065BC16 , 2G065BC19 , 2G065BC22 , 2G065BC28 , 2G065BD01 , 2G065CA07 , 2G065CA30 , 2G065DA08

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