感光性重合体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146224
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330962
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】金属箔上でのパターン加工において、良好な形状のパターンを面内で均一に得ることができ、金属箔とパターンの間で剥がれの生じることのない感光性重合体組成物を提供する。【解決手段】金属箔上に塗布、プリベークして、露光、現像によりパターンを形成し、キュア後の30°C〜100°Cの平均熱線膨張係数が25×10-6(1/°C)以下である感光性重合体組成物において、(A)ポリマー、(B)金属との接着助剤化合物、(C)感光剤を必須成分とすることを特徴とする感光性重合体組成物。

請求項（抜粋）：

金属箔上に塗布、プリベークして、露光、現像によりパターンを形成し、キュア後の30°C〜100°Cの平均熱線膨張係数が25×10-6(1/°C)以下である感光性重合体組成物において、(A)ポリマー、(B)金属との接着助剤化合物、(C)感光剤を必須成分とすることを特徴とする感光性重合体組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/085 , C08K 5/34 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (9件)：

G03F 7/085 , C08K 5/34 , C08K 5/36 , C08L101/00 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 504 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 D , H01L 21/30 502 R

Fターム (62件)：

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC31 , 2H025BC69 , 2H025BC70 , 2H025CA00 , 2H025CA01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC06 , 2H025DA18 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096LA17 , 4J002CM011 , 4J002CM041 , 4J002CN061 , 4J002EB097 , 4J002EE037 , 4J002EE047 , 4J002EE057 , 4J002EN107 , 4J002EQ037 , 4J002ES017 , 4J002EU026 , 4J002EU036 , 4J002EU046 , 4J002EU056 , 4J002EU116 , 4J002EU136 , 4J002EU186 , 4J002EV047 , 4J002EV266 , 4J002EV287 , 4J002EV307 , 4J002EV346 , 4J002EV347 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 5F058AA08 , 5F058AB05 , 5F058AC02 , 5F058AC08 , 5F058AF04 , 5F058AG01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-153934
i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-124383 出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-287164 出願人：日本合成ゴム株式会社

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審査官引用 (6件)

i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-124383 出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
特開平2-153934
特開平2-153934

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