特許
J-GLOBAL ID：200903099877898069
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017450
公開番号（公開出願番号）：特開平5-216219
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、4-アジドベンズアルデヒド-2-スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ塩を用いる。【化1】【効果】高感度を有しており、大型カラーブラウン管の製造等に用いて短時間での露光が可能となる。
請求項（抜粋）：
水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位とを少なくとも含む感光性高分子を光架橋剤とし、これとベースポリマとして、4-アジドベンズアルデヒド-2-スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ塩からなることを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/012 501
, G03F 7/038
, G03F 7/26
, G03F 7/28
