フィルム用ガス透過率測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027923
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241978
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【構成】フィルム材料を透過する種々のガスの透過率を、質量分析計と高真空システムを用いて極めて高感度に評価する装置である。【効果】本発明に従えば、φ3.5cm程度の大きさの試料を用い、酸素ガスで0.001cc・m-2・day-1の検出限界を得ることができ、通常の活性ガスセンサーでは検知できない希ガス透過率の評価も同一の装置で評価が可能である。

請求項（抜粋）：

フィルム用のガス透過率測定装置にして、ガス透過率の測定対象たるフィルム(10)の両面の気密を保ちつつ保持するためのフランジ(11)と、該フィルムの片方の主面から被測定対象となるガスをフィルムに暴露せしめるための容器(12)と、該フィルムのガス暴露された面と逆側の主面に対して1×10-6Torr以下の圧力まで排気することが可能な真空容器(13)とが、接続されてなり、該フランジに保持されたフィルムが該容器と該真空容器を流体的に隔離して設置されることが可能な装置であって、かつ該真空容器が質量分析計(14)を有していることを特徴とするフィルム用ガス透過率測定装置。

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