特許
J-GLOBAL ID：200903099880638671
欠陥評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262861
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092095
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 異物の検出その検証の時間を短縮でき、小型で安価な欠陥評価装置を提供する。【構成】 いずれも大気中で作業を実行できる欠陥検出部1、欠陥検証部2、元素分析部3を備えている。欠陥検証部3には原子間顕微鏡や走査トンネル顕微鏡が、元素分析部4には蛍光X線分光器および有機物分光計が使用されている。【効果】 異物検出、その異物の検証、元素分析を大気中で実施することにより、ウエハの周囲を真空に排気しなくとも済むため、真空排気するための時間を省略することができ、異物検出時間、検証時間、元素分析時間を短縮できる。元素分析作業前に、検証作業を実行することにより、異物検出部が真に欠陥を検出したのか、グレインを検出したのかを検証できるため、無駄な元素分析作業の実行を回避でき、欠陥評価の作業性および精度を高めることができる。
請求項（抜粋）：
被検査物における欠陥を検出する欠陥検査部と、欠陥検査部によって検出された欠陥の位置座標に基づいて欠陥か否かを検証する欠陥検証部と、欠陥検証部によって検証された欠陥について組成を分析する組成分析部とを備えており、前記欠陥検査部が欠陥の検出を大気中にて実行するように構成されており、前記欠陥検証部が欠陥の検証を大気中にて実行するように構成されていることを特徴とする欠陥評価装置。
IPC (2件)：
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