特許

J-GLOBAL ID：200903099883905280

熱硬化型感光材料

発明者： 堤 義高 ,  上村 輝久 ,  村中 和昭 ,  長谷川 正積
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289147
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140648
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示素子の反射板、薄膜磁気ヘッド用層間絶縁膜等の凹凸を利用する用途に用いられるパターン形成材料を提供する。【構成】 ポリマー、感光剤、熱硬化剤及び溶媒からなる感光材料において、該ポリマーがポリビニルフェノールからなるアルカリ可溶性樹脂、該感光剤が1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、さらに加熱処理により熱流動及び熱硬化された凹凸パターンを形成することのできるメラミン系化合物又は4官能以上の脂環式エポキシ系化合物からなる熱硬化剤を含有し、かつ限定された組成の範囲内で使用することを特徴とする熱硬化型感光材料。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感光剤、熱硬化剤及び溶剤からなる熱硬化型感光材料において、該アルカリ可溶性樹脂がポリビニルフェノールからなり、該感光剤が1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルからなり、さらに加熱処理により耐熱性及び耐薬品性を付与させる熱硬化剤が下記一般式(1)に示される構造単位からなる硬化剤又は4官能以上の脂環式エポキシ系硬化剤から少なくとも1種以上選択されたものからなることを特徴とする熱硬化型感光材料。【化1】[式中、Wは-NY5Y6{Y5及びY6はそれぞれ水素又は-CH2OZ(Zは水素又は炭素数1から6までのアルキル基を示す。)を示す。}又はフェニル基を示し、Y1ないしY4はそれぞれ水素又は-CH2OZ(Zは水素又は炭素数1から6までのアルキル基を示す。)を示す。]

IPC (7件)：

G03F 7/022 ,  C08F 2/44 MDY ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/40 502 ,  H01L 21/027