特許
J-GLOBAL ID：200903099891167271
パターン検査装置およびその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066388
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327559
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【課題】 被検査基板の品質状態に応じて検査分解能を適宜調整し、当該検査時間を短縮化することのできるパターン検査装置とその方法を提供する。【解決手段】 本発明のパターン検査装置は、画像信号処理部3、画像解析部4、検査結果処理部5、CCDカメラ6、一対の照明7および検査テーブル8を含む光学検査装置部1と、確認ステーション2とからなる。画像信号処理部3は、カメラが出力する画像データをA/D変換し、2値信号化し、画像信号の補正をする。画像解析部4は、画像信号処理部3の出力したデジタル画像信号を基準検査データと比較して検査結果を出力する。確認ステーション2は画像解析部4が出力した欠陥データの実欠陥抽出処理をし、検査結果処理部5は、検査結果データを統計解析してその結果により適合する分解能を選出し、この分解能に応する基準検査データを算出して、次の基準データとして設定する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に導電性パターンが形成されるプリント配線板の光学的画像をデジタル画像信号として出力する画像信号処理手段と、前記デジタル画像信号を予め設定されている所定の分解能における基準検査データと比較して品質検査を行い欠陥が検出されると検出欠陥データを出力する画像解析手段と、前記検出欠陥データが示す欠陥が実際の欠陥である実欠陥であるか、実欠陥ではないが欠陥として出力された検出欠陥かを判定し、実欠陥と検出欠陥とを区別して欠陥データを出力する確認ステーションとを有するパターン検査装置において、前記確認ステーションより出力される検出欠陥データおよび実欠陥データを検査結果データベースに記録すると共に、当該検査結果データベースの検出欠陥データと実欠陥データとを参照して、検査対象プリント配線板の製造品質が安定しているか否かを判定し、該判定結果に応じて、前記分解能を修正し、該修正された分解能に対応する基準検査データを自動的に作成して出力し、基準検査データを更新する検査結果処理手段とを有し、前記検査結果処理手段が更新された基準検査データにより、前記画像解析手段が前記修正分解能に対応する品質検査を行うことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H05K 3/00
G01N 21/88 F
, G01N 21/88 J
, G01B 11/30 C
, H05K 3/00 V
