特許

J-GLOBAL ID：200903099898220780

ポジ型感光性樹脂組成物およびレジスト像の製造法

発明者： ▲こい▼渕 滋 ,  橋本 通晰
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-208527
公開番号（公開出願番号）：特開平8-076372
出願日： 1994年09月01日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 高感度で基板上への濡れ広がり性がよく、解像度が高いポジ型感光性樹脂組成物およびこれを用いたレジスト像の製造法を提供する。【構成】 (A)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(B)感光剤としてナフトキノンジアジド基を有する化合物および(C)溶剤としてジアセトンアルコールと酢酸エステル類を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物およびこのポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥した後、露光、現像するレジスト像の製造法。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(B)感光剤としてナフトキノンジアジド基を有する化合物および(C)溶剤としてジアセトンアルコールと酢酸エステル類を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 564 D