特許

J-GLOBAL ID：200903099898358900

表面層評価方法及びその装置

発明者： 渡辺 敦志 ,  永島 良昭 ,  高橋 文信 ,  小田 将史
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-313338
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153585
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】材料の表面層に施工された改質処理に伴う超音波データ変化を測定し、予め格納したデータベースと比較し評価する表面層評価方法を提供する。【解決手段】超音波センサ対1を回転させ、超音波3の被検体2への伝播経路を変化させて、超音波データの角度依存性を超音波データ処理装置6により測定する。予め測定したデータベース8と比較し、材料の表面改質層の均一性を表面層評価装置7により評価する。

請求項（抜粋）：

被検体に施工された表面改質層の評価方法において、超音波を改質層に伝播させる方向を変化させて、超音波データと角度の相関を求め、予め格納したデータベースと比較し、改質の均一性を診断することを特徴とする表面層評価方法。