結晶体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302590
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】引き上げバッチごとのバラツキ防止に有効な結晶体の製造方法を提供する。【解決手段】標準ルツボと使用ルツボの重量差(ΔW)に基づいて、両者の肉厚差(Δt)を概算し、この肉厚差(Δt)分だけルツボの形状データ(P[n])をシフトして、補正データ(P’[n])を作成する。そして、この作成した補正データ(P’[n])を使用して結晶体の引き上げを行う。

請求項（抜粋）：

標準ルツボ(200)の形状データ(P[n])に基づいて、使用ルツボ(202)内に収容されたメルト(12)の挙動を把握しながら、結晶体(10)を製造する方法において、前記標準ルツボと使用ルツボの重量差(ΔW)に基づいて両者の肉厚差(Δt)を概算し、この概算した肉厚差を用いて前記形状データを補正することを特徴とする結晶体の製造方法。

Fターム (1件)：

4G077PF52

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