特許

J-GLOBAL ID：200903099909516236

ポジ型感光性組成物

発明者： 藤森 亨 ,  青合 利明 ,  山中 司 ,  上西 一也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019002
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211865
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 露光後から加熱処理までの経時による酸の拡散及びレジスト表面部の酸の失活の防止が容易且つ適切にでき、且つ溶解阻止化合物の溶解阻止効果が維持され、良好なプロファイルと高感度、高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供することができる。【解決手段】 水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、並びに塩基性窒素及び酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び塩基性窒素、及び酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R