特許
J-GLOBAL ID:200903099911381119

質量分析計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-274031
公開番号(公開出願番号):特開平6-124684
出願日: 1992年10月13日
公開日(公表日): 1994年05月06日
要約:
【要約】【目的】レーザ質量分析計において、試料を顕微鏡で観察して測定箇所を特定し、測定箇所にレーザ光を集光しての照射を可能とし、レーザ光により脱離した物質を障害物なく質量分析部に送ることを可能とする。【構成】イオンを加速または偏向するリペラー電極とエクストラクション・グリッドの間に凹面反射鏡を設置した。
請求項(抜粋):
リペラー(押出し電極)、エクスツルーダ(引出電極)、リフレクター及びレーザ光源からなる飛行時間形質量分析計において、試料と平行に配置したリペラーに対してレーザ光線を垂直に入射させ、試料とリペラーとの間にイオン集束用の電場、または磁場からなる対物レンズを配置した事を特徴とする質量分析計。
IPC (3件):
H01J 49/10 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/40

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