特許
J-GLOBAL ID：200903099912647066
エアピンセット
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
大岩 増雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-124358
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211226
出願日： 1991年05月29日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】半導体ウエハをエアピンセットを用いて保持する時、すべり落ちることを防止し、かつ、半導体ウエハの吸着をスムーズに行うことを主な目的とする。【構成】エアピンセット1の吸着部4に加え、吸引ボタン3に連結した押え部材5を設け、おさえ部材5にはつめ5bが設けられている。かかる構造により、半導体ウエハ2を吸引ボタン3を押すことにより吸着部4で吸着した時、同時に半導体ウエハのおさえ部材5が半導体ウエハを押さえる。【効果】吸着部に加えて半導体ウエハのおさえ部材を設けたことにより、半導体ウエハを確実に保持し、作業能率の向上が可能となる。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを吸着するための吸着部と、この吸着部の真空引きを制御する吸引ボタンと、この吸引ボタンに連動し前記半導体ウエハに押接するつめが設けられている押え部材とを備えてなるエアピンセット。
IPC (2件)：
前のページに戻る
