特許
J-GLOBAL ID：200903099914348490
表面性状試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058430
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270295
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 試料表面をスクラッチしてその表面性状を評価する表面性状試験装置に関し、曲率の付いた試料も含めて精度良く測定できるようにする。【構成】 動作制御部3は移動用装置1の一軸移動用ステージ11及び傾き動作用ステージ12に制御信号を送出し、一軸移動用ステージ11の移動制御及び傾き動作用ステージ12の回転制御を行う。移動制御によって、一軸移動用ステージ11は矢印B方向に直線移動し、回転制御によって、傾き動作用ステージ12は矢印C方向に回転する。その結果、スタイラス21は矢印D方向に試料4の曲率面41をスクラッチし、表面に引っかき傷を描いていくと共に、その表面性状に応じた信号を出力し、その信号によって、試料4の表面性状が評価される。このスクラッチは、試料4の曲率面41とスタイラス21とが常時一定角度に保持される状態で行われるので、正確な荷重が試料4に伝えられ、試料4に曲率が付いている場合でも、測定を高精度で行うことができる。
請求項（抜粋）：
試料表面をスクラッチしてその表面性状を評価する表面性状試験装置において、一方向に移動可能に設けられた一軸移動用ステージと、前記一軸移動用ステージに固定され、回転体部分を有すると共に前記回転体部分に形成されたステージ面が前記回転体部分の回転に応じて傾き動作を行う傾き動作用ステージと、前記傾き動作用ステージのステージ面に固定され、曲率面を有する試料をセッティングする試料ステージと、前記試料の曲率面をスタイラスを用いてスクラッチし表面性状に応じた電気信号を出力するスクラッチ試験部と、前記一軸移動用ステージ及び前記傾き動作用ステージに制御信号を送出して前記一軸移動用ステージの移動制御及び前記傾き動作用ステージの回転制御を行うことにより前記試料を移動させ、前記スタイラスに前記試料の曲率面に沿った走査を行わせるステージ動作制御部と、を有することを特徴とする表面性状試験装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
