特許

J-GLOBAL ID：200903099916701952

光変調デバイス及び表示装置

発明者： 酒井 真理
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183065
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013427
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 反射面の曲率変化を大きくして集光性能を向上させると共に変調精度を向上した光変調デバイス及びそれを用いた表示装置を提供する。【解決手段】 光を反射するミラー膜構造65を有すると共に基板11の一方面側に設けられたミラー要素20と、該ミラー要素20に対応して設けられた駆動素子80とを有する光変調デバイス10において、前記ミラー要素20への入射光の方向を調整するために前記基板11を変形させる調整手段30を有することにより、入射光の方向を容易に調整できる。

請求項（抜粋）：

光を反射するミラー膜構造を有すると共に基板の一方面側に設けられたミラー要素と、該ミラー要素に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、前記ミラー要素への入射光の方向を調整するために前記基板を変形させる調整手段を有することを特徴とする光変調デバイス。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  G09F 9/30 349

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  G09F 9/30 349 D

Fターム (28件)：

2H041AA16 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ08 ,  5C094AA10 ,  5C094AA36 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094AA56 ,  5C094BA04 ,  5C094BA16 ,  5C094BA62 ,  5C094BA71 ,  5C094BA87 ,  5C094BA92 ,  5C094BA99 ,  5C094CA18 ,  5C094DA05 ,  5C094DB01 ,  5C094DB02 ,  5C094EA04 ,  5C094EB04 ,  5C094ED11 ,  5C094ED15 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB16 ,  5C094GA10