特許

J-GLOBAL ID：200903099929518200

ペリクルとその製造方法

発明者： 荒木 秀輝 ,  角谷 修一 ,  松居 雄毅
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198465
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056325
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 膜体の膜厚が均一で色ムラがなく、かつ使用時に膜上に異物のないペリクルを提供すること。【構成】 (1)反射防止層を備えた光学薄膜の外側にさらに保護用ダミー外層を有するペリクル、(2)1.平滑な基板上に保護用ダミー外層を形成するポリマー溶液、反射防止層を形成する弗素系ポリマー溶液、光線透過率の高いポリマー溶液、反射防止層を形成する弗素系ポリマー溶液を順次、塗布、乾燥して膜体を形成する工程、2.接着剤つきペリクル枠と該膜体を合体させた後、該接着剤を硬化する工程、3.余分な膜を取り除く工程よりなる上記(1)項記載のペリクルの製造方法。

請求項（抜粋）：

弗素系ポリマーからなる反射防止層を備えた光学薄膜の外側にさらに保護用ダミー外層を有することを特徴とするペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  G02B 1/10

FI (2件)：

H01L 21/30 502 P ,  G02B 1/10