特許
J-GLOBAL ID：200903099930046916
標的のための圧延製品及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
太田 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115239
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241837
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】【課題】 標的製造の信頼性を大幅に高め、原因不明の製造の不安定性を克服する。【解決手段】 必要に応じて部分的に圧延した、粗鋳造ブランクから出発して、次の連続する1)〜4)過程を経る:1)前記ブランクを被覆する酸化物層を除去し、その再形成を防止する手段を実施する過程と;2)非酸化雰囲気を有する炉内で、アルミニウム母材内に存在する合金元素を含む沈殿物を均質化および溶液化する熱処理を実施する過程と;3)前記製品内に含まれる水素の大部分を抽出することを可能にする条件の下で、水素含有率が0.05ppm未満に成るまで、前記均質化熱処理を延長する過程と;4)前記ブランクを少なくとも10%の厚みまたは断面の減少に対応する圧延にかける過程。
請求項（抜粋）：
アルミニウムまたはアルミニウム合金に対応する組成の液体金属を鋳込んで形成したブランクから陰極スパッタ標的を形成するためのアルミニウムまたはアルミニウム合金製の標的のための圧延製品の製造方法において、下記の連続する過程を特徴とする製造方法:1)前記ブランクを被覆する酸化物層を除去し、その再形成を防止する手段を実施する過程と;2)非酸化雰囲気を有する炉内で、前記製品の表面を酸化するおそれのない条件の下で、アルミニウム母材内に存在する合金元素を含む沈殿物を均質化および溶液化する熱処理を実施する過程と;3)最初から前記製品内に含まれる水素の大部分を抽出することを可能にする条件の下で、水素含有率が0.05ppm未満、好適には0.03ppm未満に成るまで、前記均質化熱処理を延長する過程と;4)前記ブランクを少なくとも10%の厚みまたは断面の減少に対応する圧延にかける過程。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, B21B 3/00
, B22D 11/00
, C21D 1/773
C23C 14/34 A
, B21B 3/00 J
, B22D 11/00 E
, C21D 1/773 A
, C21D 1/773 J
