特許
J-GLOBAL ID:200903099931757336

温度サイクル試験装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-063084
公開番号(公開出願番号):特開平5-267418
出願日: 1992年03月19日
公開日(公表日): 1993年10月15日
要約:
【要約】【目的】 温度サイクル試験時間を短縮する。【構成】 試験室11と高温槽12と低温槽13とを備えており、試験室11に高温槽12の高温の流体2と、低温槽13の低温の流体3とが交互に供給されることによって、試験室11に収容された被試験物1について温度サイクル試験が実施される温度サイクル試験装置において、高温槽12と低温槽13とは、その熱容量が均等になるように構成されている。【効果】 高温槽12の熱容量が低温槽13のそれと同等になっているため、高温側の規定温度到達時間が低温側のそれと同等まで、短縮化される。高温側の規定温度到達時間が短縮化された分だけ、温度サイクル試験時間が短縮される。
請求項(抜粋):
試験室と高温槽と低温槽とを備えており、試験室に高温槽の高温の流体と、低温槽の低温の流体とが交互に供給されることによって、試験室に収容された被試験物について温度サイクル試験が実施される温度サイクル試験装置において、高温槽と低温槽とは、その熱容量が均等になるようにそれぞれ構成されていることを特徴とする温度サイクル試験装置。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  G01R 31/26

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