特許
J-GLOBAL ID：200903099937533405
赤外線検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164605
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 製造が容易で且つ小型に製造できるとともに、赤外線検出部から基板への熱の流出を抑制できて赤外線検出の感度、応答性が良好な赤外線検出素子を提供する。【構成】 基板1の表面側に赤外線検出部2が設けられて、該基板1の赤外線検出部2よりも下方の位置には、赤外線検出部2と基板1との相互間の熱伝導を抑制する熱分離空間部5が形成されている赤外線検出素子であって、前記赤外線検出部2は、シリコン酸化膜4の単層膜により支持されている構成である。
請求項（抜粋）：
基板の表面側に赤外線検出部が設けられて、該基板の赤外線検出部よりも下方の位置には、赤外線検出部と基板との相互間の熱伝導を抑制する熱分離空間部が形成されている赤外線検出素子であって、前記赤外線検出部は、シリコン酸化膜の単層膜により支持されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/00
