インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-132419
公開番号（公開出願番号）：特開2003-019805
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：

【要約】【課題】積層型圧電素子にスリット加工を施して形成する場合の個別電極、共通電極の確保が難しい。【解決手段】絶縁性基板3上に駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子8の対向しない端面側を接続するスリット溝21で分割された個別電極22,22...が形成されていると共に、各圧電素子列4,4間で前記スリット溝21と直交する方向に、スリット溝21よりも深い共通溝23が形成され、共通溝23には個々の駆動部圧電素子7及び固定部圧電素子8の対向する端面側を接続する共通電極24が形成されている

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に電極用パターンを形成したインクジェットヘッドの製造方法において、前記絶縁性基板上に個別電極用のスリット加工で形成される溝よりも深い共通溝を形成し、その後前記絶縁性基板上に電極用パターンを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , H01L 41/083 , H01L 41/22

FI (3件)：

B41J 3/04 103 H , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 S

Fターム (15件)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AG47 , 2C057AG92 , 2C057AG93 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP22 , 2C057AP25 , 2C057AP54 , 2C057AP55 , 2C057AQ03 , 2C057AQ06 , 2C057AQ10

引用特許：

審査官引用 (4件)

インクジェットヘッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-030615 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平4-125158
インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000663 出願人：セイコーエプソン株式会社

全件表示

前のページに戻る