特許
J-GLOBAL ID：200903099949399330
ワ-クの処理受け渡し装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164502
公開番号（公開出願番号）：特開平5-008192
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】この発明は、装置の大型化を招くことなく、ワ-クに複数の処理を順次行うことができるようにしたワ-クの処理受け渡し装置を提供することを主要な目的とする。【構成】複数のプロセスチャンバ4a、4bを一列に形成し、隣り合う一対のプロセスチャンバ間にロボット11が設置されるロボットチャンバ5を形成し、上記ロボット11を、細長く形成されているとともに回転駆動される基部14およびこの基部14の長手方向に沿って伸縮自在に設けられたア-ム15とから形成したことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
一列に連設された複数のプロセスチャンバと、隣り合う一対のプロセスチャンバ間に形成されたロボットチャンバと、このロボットチャンバに配設され隣り合う一対のプロセスチャンバの一方で処理されたワ-クを他方に受け渡すロボットとを具備し、このロボットは、回転駆動される基部と、この基部の回転中心から径方向に沿って伸縮自在に設けられたア-ムとから形成されていることを特徴とするワ-クの処理受け渡し装置。
IPC (5件)：
B25J 18/02
, B25J 18/04
, H01L 21/68
, H01L 21/22
, H01L 21/285
