特許

J-GLOBAL ID：200903099952139519

樹脂マイクロレンズの製造方法および該樹脂マイクロレンズを備える受発光素子

発明者： 田村 弘基
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156915
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350606
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 従来の受発光部素子基板上への樹脂マイクロレンズの製造方法では半球状に満たない凸レンズしか製造できず、収束力が不足して光量の利用効率が極めて低いという問題点を生じていた。【解決手段】 本発明により溶融と硬化とを光反応性熱硬化樹脂によるレジスト膜2よりも適宜に比重の軽い液体23中で、且つ、受発光部素子基板10を受発光部10aを下向きとする状態で行う樹脂マイクロレンズの製造方法とし、加えて、受発光部10aの周縁には溶融した状態のレジスト膜2に対し撥水性を有する部材で形成された略リング状の撥液(水)性を有する膜2を設けることで、ほぼ真球状のマイクロレンズを正確に受発光部10aに設けることを可能とし課題を解決するものである。

請求項（抜粋）：

受発光素子基板上に続く工程で行われる受発光部の周縁への撥液(水)性を有する膜による成膜に対し不要となる部分をマスキングするマスキング用ホトレジストをホトリソ手段によりパターニングする第一工程と、前記マスキング用ホトレジストが設けられた部分を含む前記受発光素子のほぼ全面に撥液(水)性を有する膜の成膜を行う第二工程と、前記マスキング用ホトレジストをこのマスキング用ホトレジストの上面に設けられた撥液(水)性を有する膜の成膜を含み除去し必要部分のみを残余させる第三工程と、前記受光部に対応する位置に光反応性熱硬化樹脂の適量を適宜形状としてホトリソ手段により付着させる第四工程と、前記受発光素子基板を前記光反応性熱硬化樹脂よりも適宜に比重の軽い浸漬液中に前記受発光部を下向きとする状態で浸漬して加熱しレンズ形状の形成と固定化とを行う第五工程と、前記浸漬液中から取り出した前記受発光素子基板から前記浸漬液を除去する第六工程とから成ることを特徴とする樹脂マイクロレンズの製造方法。

IPC (5件)：

G02B 3/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 33/00 ,  H04N 5/335

FI (5件)：

G02B 3/00 A ,  H01L 33/00 M ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D

Fターム (15件)：

4M118AA10 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5F041AA06 ,  5F041CA46 ,  5F041CA77 ,  5F041CB14 ,  5F041EE11 ,  5F088BA01 ,  5F088CB06 ,  5F088CB20 ,  5F088HA20 ,  5F088JA12