特許
J-GLOBAL ID：200903099960925248
インクジェットヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140405
公開番号（公開出願番号）：特開平8-332726
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 インク室31内に圧力を発生させるための圧力発生部材20を構成する層が熱的応力によって剥離するのを防止して、寿命を延ばすことができるインクジェットヘッドを提供する。【構成】 圧力発生部材20は次の要素を備える。すなわち、インクに対して耐食性を示す略板状の材料からなり、周縁部のうち少なくとも一方向に関して両端をなす部分が基板9に取り付けられ、実質的に熱応力がない無変位状態と、熱膨張して座屈した座屈状態とを取り得る第1,第2座屈体1,2を備える。また、第1,第2座屈体1,2間に第1,第2の絶縁層3,4を備え、第1,第2絶縁層3,4間にヒータ層7を備える。第1絶縁層3とヒータ層7とを密着させる第1密着層5と、第2絶縁層4とヒータ層7とを密着させる第2密着層6を備える。
請求項（抜粋）：
ノズル開口を有するノズルプレートおよびこのノズルプレートに対向する基板を周壁の一部に含むインク室と、このインク室内に設けられ、上記ノズルプレートに対向する圧力発生部材とを備え、この圧力発生部材の変形により上記インク室内に圧力を発生させて、上記インク室内のインク液を上記ノズル開口を通して室外へ吐出させるインクジェットヘッドであって、上記圧力発生部材は、上記インクに対して耐食性を示す略板状の材料からなり、周縁部のうち少なくとも一方向に関して両端をなす部分が上記基板に取り付けられ、実質的に熱応力がない無変位状態と、熱膨張して座屈した座屈状態とを取り得る第1および第2の座屈体と、上記第1の座屈体と第2の座屈体との間に、この両座屈体に沿って設けられた第1および第2の絶縁層と、上記第1の絶縁層と第2の絶縁層との間に、この両絶縁層に沿って設けられ、通電により発熱するヒータ層と、上記第1の絶縁層と上記ヒータ層との間に設けられ、上記第1の絶縁層と上記ヒータ層とを密着させる第1の密着層と、上記第2の絶縁層と上記ヒータ層との間に設けられ、上記第2の絶縁層と上記ヒータ層とを密着させる第2の密着層とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
