特許

J-GLOBAL ID：200903099973709978

外観検査装置

発明者： 岸村 正嗣
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 山野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-205096
公開番号（公開出願番号）：特開2008-032487
出願日： 2006年07月27日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】被検査体の表面が多数の面で形成されている場合、各面の表面形状に関係なく、各面に発生した欠陥、特に、面と面とで形成される角部に発生した欠陥を正確に検出できる外観検査装置を提供する。【解決手段】複数の面で表面が形成された被検査体(歯車2)に、光を照射する照明手段4と、被検査体2の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体2を撮像する撮像手段51,52と、撮像手段51,52で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体2の平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段7と、照明手段4の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタ61と、撮像手段51,52の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタ61と振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタ62とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の面で表面が形成された被検査体に、光を照射する照明手段と、 被検査体の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体を撮像する撮像手段と、 撮像手段で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体の前記平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段と、 照明手段の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタと、 撮像手段の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタと振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタとを備えることを特徴とする外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 Z

Fターム (12件)：

2G051AA07 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051CD07 ,  2G051EA08 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 歯車等の異状診断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-324685   出願人：石川島播磨重工業株式会社