特許
J-GLOBAL ID：200903099976128992
プラズマ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304785
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162291
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 給電ケーブル長さの違い、整合回路の機種による損失の差が補正され、プラズマチャンバーに確実に指定有効パワーを伝送でき、より安定なプラズマを発生することができるプラズマ装置を得る。【構成】 プラズマチャンバーへ供給される有効伝送電力を検出しその検出値を高周波電源に電力検出値として与えて負帰還をかける電力検出回路40を、プラズマチャンバーに伝送される高周波出力の電圧及び電流を検出する電流変成器41及び分圧抵抗43と44、検出された高周波出力の電圧及び電流を異なる周波数成分と乗算して周波数混合するダブルバランスドミキサー46aと46b、その出力の高周波成分を除去する高域阻止フィルタ47、このフィルタを介した電圧と電流の乗算を行う集積回路でなる乗算器48と、その出力の直流分のみを分離する抵抗49aとコンデンサ49bでなる低域フィルタとで構成した。
請求項（抜粋）：
高周波電力設定値と電力検出値との比較差に応じて利得が制御されて上記高周波電力設定値に応じた高周波出力を送出する高周波電源と、この高周波電源からの高周波出力が伝送されてプラズマ放電するプラズマチャンバーと、上記高周波電源と上記プラズマチャンバーとの間に設けられて電源インピーダンスとプラズマ放電インピーダンスとの整合を取る整合回路と、上記プラズマチャンバーへ供給される有効伝送電力を検出し、その検出値を上記高周波電源に電力検出値として負帰還をかける電力検出回路とを備え、給電系の損失を補償してプラズマ放電を安定化させることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (2件)：
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