特許

J-GLOBAL ID：200903099983744925

静電チャック

発明者： 石井 守 ,  丹治 清一 ,  塚本 恵三 ,  石本 博三 ,  鎌田 範幸
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社 ,  日本電子株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026317
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214494
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックが構成される。絶縁層3の被吸着体W側の表面3aに、樹脂で構成された突起6が形成されている。

請求項（抜粋）：

電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の前記被吸着体側の表面に、樹脂で構成された突起を有することを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電吸着装置及びそれを用いた電子ビーム露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-044423   出願人：株式会社日立製作所