研課題
J-GLOBAL ID:200904000434462443  研究課題コード:9850000040 更新日:2003年05月14日

発光性微結晶構造の創製と電子プローブ励起による評価・制御に関する研究

実施期間:1995 - 1999
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
1) 研究目標 微結晶の周囲ににじみ出した電子を異種物質で終端し、 内部の電子の伝導状態に変化を与えることで、特異な光学的・電子的 物性を創出・制御することができる。これは物質中にナノサイズの 微結晶を埋め込んだり、表面を他の物質で被覆したりすることで実現 される。本研究では数〜数十nmの大きさのPt,Si,Ge等の 微結晶を電解法や蒸着法で作製し、その周囲を半導体や絶縁体等の 物質で終端した微結晶構造を創製する。次に閉じこめられた電子の 量子状態に依存する物性、特に発光特性や電気伝導挙動と原子構造 の関係を明らかにするため、電子プローブ励起による構造解析と ミクロ電子状態の評価を行う。 2) 研究計画 (1) 電解・ 蒸着法による発光性微結晶の創製。数十nm以下の微結晶の創製は、 a) バルク結晶の微細化と、b) 原子蒸着による微結晶の作製の 二通りある。本研究では、a) では湿式プロセスであるSi, Geウエハの陽極電解法、b) では乾式プロセスであるPt,Ge, SiO2等の絶縁体との同時蒸着法で異種物質終端の微結晶を作製 する。(2) 電子プローブ励起による原子構造・発光の評価・制御。 微結晶構造の原子レベルの解析
キーワード (10件):
結晶構造 ,  微結晶 ,  電解法 ,  真空蒸着 ,  発光 ,  絶縁材料 ,  ウエハ 【IC】 ,  原子構造 ,  電子回折 ,  結晶成長
研究制度: 経常研究
研究所管省庁:
文部科学省
研究予算: 1999年度: 17,354(千円)

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