研課題
J-GLOBAL ID:200904001999652579  研究課題コード:9800028091 更新日:1996年12月11日

イオンビームアシストによるアルミニウム蒸着膜の機能性向上に関する研究

Functionality improvement of aluminium deposited film with ion beam assistance
実施期間:1994 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
樹脂フィルム上にイオンビームアシストによりアルミニウム薄膜を成膜し,ビーム照射条件が薄膜の密着性等の皮膜特性に与える影響について検討する
キーワード (8件):
アルミニウム ,  金属薄膜 ,  イオンビーム蒸着 ,  蒸着膜 ,  薄膜成長 ,  密着性 ,  プラスチックフィルム ,  表面処理
研究制度: 経常研究
研究予算: 1994年度: 0(千円)

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