研課題
J-GLOBAL ID:200904003398727485  研究課題コード:9800018863 更新日:2003年05月14日

高密度エネルギー熱源による材料蒸発現象に関する研究

Study on evaporation of materials by high density energy source
実施期間:1992 - 1994
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
電子ビーム,レーザによる材料蒸発及び蒸気の拡散過程を基礎的に解析し,蒸発現象を利用した気相反応や均質高品位の皮膜形成のためのデータを得る
キーワード (6件):
レーザ蒸着 ,  電子ビーム蒸着 ,  拡散過程 ,  蒸発速度 ,  蒸着膜 ,  気相反応
研究制度: 経常研究
研究所管省庁:
文部科学省
研究予算: 1994年度: 1,500(千円)

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